具体操作步骤为：
1、确认与检漏仪接在一起的氦气的真空压力是否在50千帕以下；
2、接通检漏仪的电源，按下检漏仪的“MAINPOWER”开关；
3、出现“PUSHSTART”按钮时，按下检漏仪的“START”按钮；
4、检漏仪进入自检状态；
5、缓慢打开检漏仪上的手动阀门，等控制手柄上的数据稳定后开始捡漏；
6、检测完毕，先关闭捡漏仪的手动阀门，再按下控制手柄上的“VENT”按钮；
7、关闭检漏仪上的“STOP”按钮
气体检漏仪的使用方法？
一，检漏仪开机步散悄骤：
1.将检漏仪接入被检容器，
2.接通电源，打开检漏仪电源总开关，<2分钟后检漏系统启动，
3.点击开始按钮便可。
二，开始检漏，
1.必须先由蒸馏真空系统对反应器进行抽真空，当真空度达到检漏仪起测点1000pa后，缓慢开启检漏仪入气口真空球阀，面板数据稳定以后方可开始检漏。
2.检漏仪本身也是一组由小型分子泵和机械泵组成的真空系统，其开启后也参与反应器的抽气工作。
3.检测人员可以采用氦气对反应器所有接口法兰及焊缝进行吹气，如果有漏点存在，当氦气经过此位置时，就会有少量的氦气随同空气进入炉体，再由真空管路抽走，此时，会有少量的氦气进入检漏仪中，检漏仪内部的氦气质谱仪，就会检测到氦气的存在，通过检漏仪数值变大提示清数检测人员在此位置附近存在泄漏点。当漏点较大发出报警此时应停止喷气待检漏仪把氦气抽完数字恢复正常后或者调零后数字稳定后方可继续检漏。同时对于多重弯曲的管道容器氦气从泄漏点到达检漏仪需要一定时间因此一段喷气后应等待约20秒观察数字变化情况来确定此段工件是否漏气。由于，氦气的密度小，在大气中其会向上飘散，故此，在吹气检测时，应从设备上部开始吹气，以便漏点的位置确定。在进行双层夹套的检漏时，可以将夹套作为独立的腔体进行单独抽真空检漏，实现对内外壁的一次性检测。检查完后冲正渣处理全部漏点，并再次进行复检，确定所有的漏点不漏或者微微一点漏（就是面板系数数据变动不大于1）。方可终止检漏。
三，停机:
1.停机前先关闭反应器真空球阀 ，
2.再关闭面板上的停止键
3.关闭电源。
四，注意事项：
1.开机状态禁止移动设备，
2.禁止未停机对检漏仪放大气，
3.禁止未用预抽辅助真空设备使用检漏仪，
4.禁止环境温度超过40°时使用
5.必要时检漏仪工作时接地线，
6.停机30分钟内不得移动检漏仪，且在移动检漏仪时要小心碰撞轻拿轻放。
用氦气怎么测试 真空镀膜机漏气
要借用氦质谱检漏仪 捡漏步骤： 1
将氦质谱检漏仪接在要检测容器上（镀慎李膜机就接在初抽管道上；要求打开镀膜机器初抽阀） 2.打开锋弊氦质谱检漏仪（让它抽空；抽到高真空） 3.一般还要自检，有时候氦质谱检漏仪本身漏气； 4.再后一步，用氦气在镀膜机上由上到下检每个密封孔，法兰；当氦质谱银孝族检漏仪上真空度波动大时就说明所检测的位置漏气
希望我的回答可以帮助到你
谢谢
有兴趣+QQ247908279
你认为氦检漏的工作原理是什么？
真空箱氦检漏，根据氦检漏的基本检漏原理，用氦气作为示踪气体，在真空箱内将氦气充入工件，然后通过氦检漏仪能高精度、迅速准确的判断工件的泄露情况。
操作者把工件放在真空箱内，将工件接口与真空箱内的快速接头进行连接，在真空箱门关闭后，系统能全自动的完成大漏检测、工件强度检测、抽空、充氦、检漏、回收整个过程，生产节拍快，检漏精度高。
工艺流程编辑
A1：安装工件-----关真空箱门-----真空箱抽真空，同时工件内充高压氮气-----大漏及强度检测；
B1：若A1检测不通过，则系统报警，大漏工件序号显示-----检测程序中止；
B2：若A1检测通过，放掉氮气------对工件抽真局喊空------真空箱内的氦气本底抑零-----工件内充入氦气-------真空模式，微漏检测；
C1：若B2检测不通过，则系统报警-----循环检，小漏工件序号显示------检测程序中止；
C2：若B2检测通过，真空箱内充入大气，同时升橡工件内氦气回收-------真空箱开门，检测完成。
系统特征及优点编辑
1、高压氮气强度检测真空箱内进行，保护操作者安全
2、真空箱内氦气本底抑零，保证了检漏吵腊旁的准确性、高精度。
3、检漏仪的自动校准功能以及自动校准程序，可随时校准检漏仪的灵敏度、准确度。
4、特殊设计的检测程序判断出具体的有漏工件，并通过灯光和液晶操作屏显示出来。
5、专利技术的密封接头，减少误判。
6、电气控制系统的连锁保护及声光报警功能，确保了系统的操作安全及可靠运行。
7、PLC控制，使系统运行清晰明了，实现了实时监测及控制。
氦气检漏仪的工作原理
1．氦质谱检漏仪 氮质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度最高，用得最普遍的检漏仪器。 氦质谱检漏仪是磁偏转型的质谱分析计。单级磁偏转型仪器灵敏度为lO-9～10-12Pam3／s，广泛地用于各种真空系统及零部件的检漏。双级串联磁偏转型仪器与单级磁偏转型仪器相比较，本底噪声显著减小．其灵敏度可达10-14～10-15Pam3／s，适用于超高链历枯真空系统、零部件及元器件的检漏。逆流氦质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局，被检件置于检漏仪主抽泵的前级部位，因此具有可在高压力下检漏、不用液氮及质谱室污染小等特点．适用于大漏率、真空卫生较差的真空系统的检漏，其灵敏度可达10-12Pam3／s。 (1)工作原理与结构 氦质谱检漏仪由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。 ①单级磁偏转型氦质谱检漏仪 现以HZJ—l型仪器为例．介绍单级磁偏转型氦质谱检漏仪，其结构如图2所示。 在质谱室内有：由灯丝、离化室、离子加速极组成离子源；由外加均匀磁场、挡板及出口缝隙组成分析器；由抑制栅、收集极及高阻组成收集器；第一级放大静电计管和冷阴极电离规。质谱室的工作原理如图3所示。 在离化室N内，气体电离成正离子，在电场作用下离子聚焦棚洞成束。并在加速电压作用下以一定的速度经过加速极S1的缝隙进入分析器。在均匀磁场的作用下，具有一定速度的离子将按圆形轨迹运动，其偏转半径可按式（5）计算。 可见，当B和U为定值时，不同质荷比me-1的离子束的偏转半径R不同。仪器的B和R是固定的，调节加速电压U使氦离子束[图中(me-1)2]恰好通过出口缝隙S2，到达收集器D，形成离子流并由放大器放大。使其由输出表和音响指示反映出来；而不同于氦质荷比的离子束[(me-1)1(me-1)3]因其偏转半径与仪器的R值不同无法通过出口缝隙S2，所以被分离出来。(me-1)2=4，即He+的质荷比，除He+之外，C卅很少，可忽略。 ②双级串联磁偏转型氦质谱检漏仪 图4示出了双级900缩转串联式磁偏转型氦质谱检漏仪的质谱室。由于两次分析，减少了非氦离子到达收集器的机率。并且，如在两个分析器的中间，即图中的中间缝隙S2与邻近的挡板间设置加速电场，使离子在进入第二个分析器前再次被加速。那些与氦离子动量相同的非氦离子，虽然可以通过第一个分析器，但是，经第二次加速进入第二个分析器后，由于其动量与烂伏氦离子的不同而被分离出来。由于二次分离，仪器本底及本底噪声显著地减小，提高了仪器灵敏度。 ③逆流氦质谱检漏仪 逆流氦质谱检漏仪的结构特点如图5所示。该类仪器是根据油扩散泵或分子泵的压缩比与气体种类有关的原理制成的。例如，多级油扩散泵对氦气的压缩比为102；对空气中其它成分的压缩比为lO4～106。检漏时，通过被检件上漏孔进入主抽泵前级部位的氦气，仍有部分返流到质谱室中去，并由仪器的输出指示示出漏气讯号。这就是逆流氦顷质谱检漏仪的工作原理。 (2)性能试验方法 灵敏度、反应时间、清除时间、工作真空度、极限真空度及仪器入口处抽速是评价氦质谱检漏仪的主要性能指标。 ①灵敏度及其校准 氦质谱检漏仪灵敏度，通常指仪器的最小可检漏率。记为qL.min，即在仪器处于最佳工作条件下，以一个大气压的纯氦气为示漏气体，进行动态检漏时所能检测出的最小漏孔漏率。所谓“最佳工作条件”是指仪器参数调整到最佳值，被检件出气少且没有大漏孔等条件。所谓“动态检漏”是指检漏仪器本身的抽气系统仍在正常抽气。仪器的反应时间不大于3s。所谓“最小可检”是指检漏讯号为仪器本底噪声的两倍时，才能认定有漏气讯号输出。所谓“漏孔漏率”是指一个大气压的干燥空气通过漏孔漏向真空侧的漏气速率。仪器本底噪声，一般指在2min内输出仪表的最大波动量。 漏率灵敏度标准系统如图6所示。图中虚线框内部分为配气系统．即为标准漏孔5进气端提供压力为pHe的纯氦气。辅助泵6的任务是预抽。用干燥瓶4和针阀2调节仪器工作压力。如果仪器本底为I0，本底噪声为In，标准漏孔对空气的标称漏率为qL.o，当其进气压力为pHe时的仪器讯号为I，则仪器灵敏度为式（6）。 如果检漏时用辅助系统抽气(即对示漏氦气有分流)。或用累积法检漏时，给出仪器最小可检氦浓度(即浓度灵敏度)。记为γmin，能较方便地估计检漏效果。 浓度灵敏度校准系统中应用一流量计测出图6的通过针阀2进入仪器的空气流率qL.o，则仪器浓度灵敏度成为式（7）。 ②反应时间、清除时间及其测定 反应时间是指仪器节流阀完全开启，本底讯号为零(或补偿到零)时，由恒定的氦流量使输仪表讯号上升到最大值的(1-e-1)倍(即O.63)所需要的时间，记为τR。 清除时间是指输出仪表讯号稳定到最大值后，停止送氦，其讯号下降到最大值的e-1倍(即O.37)所需要的时间，记为τC。 反应时间和清除时间的测定装置如图7所示。 ③工作真空、极限真空及入口处抽速 质谱室极限真空，尤其是工作真空及入口处抽速是表征仪器性能的重要参数。利用检漏仪的真空规可以测定仪器的极限真空和工作真空。利用流量计可测定仪器入口处抽速。
